Browsing by Author Qui�ones-Galv�n, J.G., Departamento de F�sica, Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares, Apartado Postal 18-1027, M�xico D.F. C.P. 11801, Mexico; Camps, E., Departamento de F�sica, Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares, Apartado Postal 18-1027, M�xico D.F. C.P. 11801, Mexico; Muhl, S., Instituto de Investigaciones en Materiales, UNAM, M�xico D.F. C.P. 04510, Mexico; Flores, M., Departamento de Ingenier�a de Proyectos, CUCEI, Universidad de Guadalajara, Apdo. Postal 307, C.P. 45101 Zapopan, Jalisco, Mexico; Campos-Gonz�lez, E., Departamento de F�sica, CINVESTAV-IPN, Apdo. Postal 14-740, M�xico D.F. 07360, Mexico

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Influence of plasma density on the chemical composition and structural properties of pulsed laser deposited TiAlN thin filmsQuinones-Galvan, J.G.; Camps, E.; Muhl, S.; Flores, M.; Campos-Gonzalez, E.--