Browsing by Author Quiñones-Galván, J.G., Departamento de Física, Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares, Apartado Postal 18-1027, México D.F. C.P. 11801, Mexico; Camps, E., Departamento de Física, Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares, Apartado Postal 18-1027, México D.F. C.P. 11801, Mexico; Muhl, S., Instituto de Investigaciones en Materiales, UNAM, México D.F. C.P. 04510, Mexico; Flores, M., Departamento de Ingeniería de Proyectos, CUCEI, Universidad de Guadalajara, Apdo. Postal 307, C.P. 45101 Zapopan, Jalisco, Mexico; Campos-González, E., Departamento de Física, CINVESTAV-IPN, Apdo. Postal 14-740, México D.F. 07360, Mexico

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Influence of plasma density on the chemical composition and structural properties of pulsed laser deposited TiAlN thin filmsQuinones-Galvan, J.G.; Camps, E.; Muhl, S.; Flores, M.; Campos-Gonzalez, E.--